Gore发表超级过滤灵便度衡量技巧

时间:2021-07-02 来源:首页=华信娱乐登录=注册平台

  WL Gore & Associates和CT Associates宣告了一份白皮书,介绍一种新的丈量形式,能够测量半导体财产用超纯水中小于50nm的颗粒,并经历超滤(UF)和微滤(MF)的拼凑去除最小至12nm的颗粒。

  半导体厂商们提供体验的是,所有人们的 UPW 格式可以分娩不含渺小颗粒的水,这些小颗粒能够导致良率题目。当全班人的线宽更小时,这种庄重的颗粒尺寸可能小到10nm或更小。当前的颗粒计数仪不能测量这么小的颗粒,可是半导体厂商提供理会的是,全班人的 UPW 格局所接纳的过滤策略要有才略撷取这么小的颗粒。

  现时已经征战出的颗粒检测武艺能够让过滤芯厂商在实习室的境况下丈量这种小颗粒的过滤作用。这种本领在于将 UPW 蒸发酿成气态雾状的革新要领。即让来自UPW 的颗粒僵持气相,进而使其能经验常例气态颗粒检测仪注意测定颗粒的尺寸和数量。

  这种格式今天已经普遍用来评估大集体 UPW 编制所采用的超滤模块的过滤功效。该实验展示,假使这些超滤模块具有很高的过滤乖巧度,但极少极小的颗粒仍能穿透过过滤芯,是以给半导体厂商带来危险。该实验格式还进一步映现,一种过滤伶俐度极高的微滤(MF)过滤芯能够扣留大部份的细小颗粒。最后,验证了同时选用超滤模块(UF)和高考究度微滤(MF)过滤芯的过滤编制对小至12nm的颗粒呈现了非凡的过滤造诣。



上一篇:华夏原创技能教育冠心病诊断精度
下一篇:大家想昭着神经体系的究查最周密仪器是什么